真空泵油~在线回收（拉晶）

真空泵油在线回收系统

◆油变质说明
 

半导体单晶炉拉晶真空泵油，随着泵运行时间变长而油质量变差，拉单晶大都抽五炉换一批新泵油，主要是硅、铁和一些其他杂质进入泵油中，泵油油黄色变成黑色，影响泵的正常运行。
 

◆油价值估算

◆在线回收的优点
 

l  降本：帮助用户降低新油用量，年节约泵油费用60%以上。 减少新油/废油的运输成本，尤其在偏远地区。
 

l  环保：随着环保要求变严，有些省份或区域要求废油作为危废处置不让自行处理（危废处置一般都要花钱让有资质的公司拉走处理），在线回收能满足环保要求，不再大量委外求人。
 

l  难度：由于泵油的油性属性、粘度高且杂质很难去除，目前没有其他有效的在线回收方法；压滤机很难将0.1微米以下量级的硅和铁元素通过压滤去除，压滤机只能将杂质形成的团聚物质部分去除，硅和铁元素的去除程度很有限； 传统的离线薄膜蒸馏或短程蒸馏方法，只能将低沸点的基础油成分回收出来，高沸点的润滑油添加剂成分很难和杂质分离并回收。
 

l  技术：我方负责设计、安装、运行系统（或托管运营），保证回收油质量，主要回收工艺为依托特制过滤材料，专业用于高粘度油过滤。
 

l  指标：废油回收率≥80%，量产机器过滤材料寿命不低于3年，每两个月或定期清洗一次过滤材料。